型号
SOV-2010A
重现性
<0.005mm
外形尺(W*D*H)
520*580*870mm
解析力标准
0.001mm
台面大小
350*270mm
线性精度
4+L/150um
机台重量
100kg
精度
放大倍数
20x~120x
X行程
200mm
台面荷重
30kg
Y行程
100mm
CCD
1/3寸 35万画素